目前，真空磁控濺射鍍膜機(jī)、真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)、真空多弧離子鍍膜機(jī)等，真空磁控濺射鍍膜機(jī)可在低溫狀態(tài)下進(jìn)行非金屬材料進(jìn)行鍍膜，真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)和真空多弧離子鍍膜機(jī)屬于高溫鍍膜，適用于金屬材料鍍膜。

　　每種鍍膜機(jī)都有各自特點(diǎn)和使用范圍限制，如需鍍制多種不同膜層以及進(jìn)行金屬和非金屬材料的鍍膜，需要購置上述多種真空鍍膜機(jī)，存在設(shè)備投資大的缺點(diǎn)。

　　為了解決問題，提供一種多功能磁控濺射鍍膜系統(tǒng)。本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和真空手套箱系統(tǒng)集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測(cè)。 多功能磁控濺射鍍膜系統(tǒng)主要用途：用于制備各種金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜、磁控膜、光學(xué)膜、超導(dǎo)膜、傳感膜以及各種特殊需求的功能薄膜。

　　標(biāo)簽：多弧鍍膜電源