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多功能鍍膜設備及鍍膜方法

返回列表 來源: 發布日期:2022-12-16

      目前,真空磁控濺射鍍膜機、真空蒸發鍍膜機、真空多弧離子鍍膜機等,真空磁控濺射鍍膜機可在低溫狀態下進行非金屬材料進行鍍膜,真空蒸發鍍膜機和真空多弧離子鍍膜機屬于高溫鍍膜,適用于金屬材料鍍膜。

  每種鍍膜機都有各自特點和使用范圍限制,如需鍍制多種不同膜層以及進行金屬和非金屬材料的鍍膜,需要購置上述多種真空鍍膜機,存在設備投資大的缺點。

  為了解決問題,提供一種多功能磁控濺射鍍膜系統。本系統由真空鍍膜系統和真空手套箱系統集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。 多功能磁控濺射鍍膜系統主要用途:用于制備各種金屬膜、半導體膜、介質膜、磁控膜、光學膜、超導膜、傳感膜以及各種特殊需求的功能薄膜。

  標簽:多弧鍍膜電源


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