一、電控柜的操作

　　1、玻璃真空鍍膜機(jī)開(kāi)水泵、氣源

　　2、開(kāi)總電源

　　3、開(kāi)維持泵、真空計(jì)電源，真空計(jì)檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。

　　4、開(kāi)機(jī)械泵、予抽，開(kāi)渦輪分子泵電源、啟動(dòng)，真空計(jì)開(kāi)關(guān)換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。

　　5、觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后，關(guān)予抽，開(kāi)前機(jī)和高閥繼續(xù)抽真空，抽真空到達(dá)一定程度后才能開(kāi)右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能開(kāi)電子槍電源。

　　二、DEF-6B電子槍電源柜的操作

　　1、總電源

　　2、真空鍍膜設(shè)備同時(shí)開(kāi)電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：汽車(chē)玻璃鍍膜按電子槍控制Ⅰ電源、延時(shí)開(kāi)關(guān)，延時(shí)、電源及保護(hù)燈亮，三分鐘后延時(shí)及保護(hù)燈滅，若后門(mén)未關(guān)好或水流繼電器有故障，保護(hù)燈會(huì)常亮。

　　3、開(kāi)高壓，高壓會(huì)達(dá)到10KV以上，調(diào)節(jié)束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動(dòng)。

　　三、關(guān)機(jī)順序

　　1、關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。

　　2、待分子泵顯示到50時(shí)，依次關(guān)高閥、前級(jí)、機(jī)械泵，這期間約需40分鐘。

　　3、到50以下時(shí)，再關(guān)維持泵。

　　鍍膜機(jī)常見(jiàn)故障及處理方法

　　檢測(cè)不到掩膜夾具翻轉(zhuǎn)信號(hào)：

　　1、檢查翻面信號(hào)源位置

　　2、將翻面輸入信號(hào)人工短接，使用翻面檢測(cè)功能，計(jì)算機(jī)能檢測(cè)到信號(hào)時(shí)，證明問(wèn)題在翻面控制開(kāi)關(guān)上，根據(jù)情況做相應(yīng)處理。檢測(cè)不到信號(hào)首先檢查線(xiàn)路，然后更換控制卡。

　　掩膜夾具翻轉(zhuǎn)不穩(wěn)定:

　　1、檢查翻板的初始位置是否符合時(shí)機(jī)

　　2、檢測(cè)翻面控制開(kāi)關(guān)工作是否穩(wěn)定，可用指針萬(wàn)用表跟蹤監(jiān)測(cè)。

　　3、檢查翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)動(dòng)作是否靈活可靠

　　4、檢查翻面信號(hào)次數(shù)設(shè)置

　　5、檢查旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)是否與鐘罩內(nèi)壁有磨擦現(xiàn)象

　　6、檢測(cè)旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的穩(wěn)定性

　　在同一掩膜夾具頻率散差大:

　　1. 檢查晶片本身是否散差大

　　2. 檢查膜層修正板位置是否變動(dòng),重新調(diào)節(jié)修正板

　　3．檢查一下?lián)醢逶陂_(kāi)、關(guān)時(shí)是否完全遮擋住鉬舟

　　4．檢查一下轟擊環(huán)是否完遮擋住鉬舟

　　5、檢查鉬舟使用是否符合要求，要采用圓形鉬舟

　　鍋與鍋之間頻率散差大:

　　1、觀察一下監(jiān)控片是否存在跳頻現(xiàn)象

　　2、反復(fù)測(cè)量統(tǒng)一監(jiān)控片觀察振蕩器的穩(wěn)定性（不超過(guò)75Hz）

　　3、檢查冷卻水是否通暢

　　4、檢查鉬舟使用是否符合要求，要采用圓形鉬舟

　　5、監(jiān)控片選用是否符合要求，建議采用我公司的監(jiān)控片

　　鍍膜頻率不停止:

　　1、檢查頻率參數(shù)設(shè)置是否正確

　　2、鉬舟電流表是否有指示

　　3、鉬舟中是否有銀

　　4、監(jiān)控片是否跳頻

　　5、修正系數(shù)是否錯(cuò)誤

　　6、在出現(xiàn)非正常退后是否更換過(guò)監(jiān)控片

　　測(cè)試不到頻率:

　　1、更換一下監(jiān)控片

　　2、檢查一下測(cè)試彈片是否變形

　　3、用一只5MHz的晶體直接插入振蕩器輸入端測(cè)量頻率，若有頻率證明是探頭問(wèn)題，若無(wú)頻率，用計(jì)數(shù)器測(cè)量一下振蕩器輸出頻率是否異常，無(wú)正常輸出證明振蕩器有問(wèn)題，有正常輸出但計(jì)算機(jī)無(wú)顯示證明控制卡有問(wèn)題

　　控制閥均不動(dòng)作:

　　1. 檢查5V電源是否有輸出，是否接好

　　2. 檢查固態(tài)繼電器板上電源公共端是否有電

　　控制閥個(gè)別不動(dòng)作

　　1、檢查相應(yīng)的固態(tài)繼電器是否有輸出

　　未達(dá)到真空度就工作:

　　1、數(shù)字真空計(jì)出現(xiàn)不正常數(shù)字，且30秒內(nèi)無(wú)變化，例如0.00-4（國(guó)產(chǎn)真空計(jì)常見(jiàn)）現(xiàn)象

　　2、指針表在真空計(jì)打開(kāi)30秒后，黑色指針仍不擺動(dòng)

　　監(jiān)控片使用原則

　　1、監(jiān)控片表面要清洗干凈

　　2、監(jiān)控片要隨用隨鍍，空氣中暴露12小時(shí)以上禁止使用

　　3、監(jiān)控片及其表面存在存在缺陷的禁止使用

　　4、使用過(guò)程中要記錄好使用批次，嚴(yán)禁出現(xiàn)新舊混用

　　5、監(jiān)控片反復(fù)使用壽命為3次。

標(biāo)簽：真空鍍膜電源