一、電控柜的操作

　　1、玻璃真空鍍膜機開水泵、氣源

　　2、開總電源

　　3、開維持泵、真空計電源，真空計檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進入下一步操作。約需5分鐘。

　　4、開機械泵、予抽，開渦輪分子泵電源、啟動，真空計開關(guān)換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。

　　5、觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達250以后，關(guān)予抽，開前機和高閥繼續(xù)抽真空，抽真空到達一定程度后才能開右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達2×10-3以后才能開電子槍電源。

　　二、DEF-6B電子槍電源柜的操作

　　1、總電源

　　2、真空鍍膜設(shè)備同時開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：汽車玻璃鍍膜按電子槍控制Ⅰ電源、延時開關(guān)，延時、電源及保護燈亮，三分鐘后延時及保護燈滅，若后門未關(guān)好或水流繼電器有故障，保護燈會常亮。

　　3、開高壓，高壓會達到10KV以上，調(diào)節(jié)束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動。

　　三、關(guān)機順序

　　1、關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。

　　2、待分子泵顯示到50時，依次關(guān)高閥、前級、機械泵，這期間約需40分鐘。

　　3、到50以下時，再關(guān)維持泵。

　　鍍膜機常見故障及處理方法

　　檢測不到掩膜夾具翻轉(zhuǎn)信號：

　　1、檢查翻面信號源位置

　　2、將翻面輸入信號人工短接，使用翻面檢測功能，計算機能檢測到信號時，證明問題在翻面控制開關(guān)上，根據(jù)情況做相應(yīng)處理。檢測不到信號首先檢查線路，然后更換控制卡。

　　掩膜夾具翻轉(zhuǎn)不穩(wěn)定:

　　1、檢查翻板的初始位置是否符合時機

　　2、檢測翻面控制開關(guān)工作是否穩(wěn)定，可用指針萬用表跟蹤監(jiān)測。

　　3、檢查翻轉(zhuǎn)機構(gòu)動作是否靈活可靠

　　4、檢查翻面信號次數(shù)設(shè)置

　　5、檢查旋轉(zhuǎn)工作臺是否與鐘罩內(nèi)壁有磨擦現(xiàn)象

　　6、檢測旋轉(zhuǎn)工作臺在轉(zhuǎn)動時的穩(wěn)定性

　　在同一掩膜夾具頻率散差大:

　　1. 檢查晶片本身是否散差大

　　2. 檢查膜層修正板位置是否變動,重新調(diào)節(jié)修正板

　　3．檢查一下?lián)醢逶陂_、關(guān)時是否完全遮擋住鉬舟

　　4．檢查一下轟擊環(huán)是否完遮擋住鉬舟

　　5、檢查鉬舟使用是否符合要求，要采用圓形鉬舟

　　鍋與鍋之間頻率散差大:

　　1、觀察一下監(jiān)控片是否存在跳頻現(xiàn)象

　　2、反復(fù)測量統(tǒng)一監(jiān)控片觀察振蕩器的穩(wěn)定性（不超過75Hz）

　　3、檢查冷卻水是否通暢

　　4、檢查鉬舟使用是否符合要求，要采用圓形鉬舟

　　5、監(jiān)控片選用是否符合要求，建議采用我公司的監(jiān)控片

　　鍍膜頻率不停止:

　　1、檢查頻率參數(shù)設(shè)置是否正確

　　2、鉬舟電流表是否有指示

　　3、鉬舟中是否有銀

　　4、監(jiān)控片是否跳頻

　　5、修正系數(shù)是否錯誤

　　6、在出現(xiàn)非正常退后是否更換過監(jiān)控片

　　測試不到頻率:

　　1、更換一下監(jiān)控片

　　2、檢查一下測試彈片是否變形

　　3、用一只5MHz的晶體直接插入振蕩器輸入端測量頻率，若有頻率證明是探頭問題，若無頻率，用計數(shù)器測量一下振蕩器輸出頻率是否異常，無正常輸出證明振蕩器有問題，有正常輸出但計算機無顯示證明控制卡有問題

　　控制閥均不動作:

　　1. 檢查5V電源是否有輸出，是否接好

　　2. 檢查固態(tài)繼電器板上電源公共端是否有電

　　控制閥個別不動作

　　1、檢查相應(yīng)的固態(tài)繼電器是否有輸出

　　未達到真空度就工作:

　　1、數(shù)字真空計出現(xiàn)不正常數(shù)字，且30秒內(nèi)無變化，例如0.00-4（國產(chǎn)真空計常見）現(xiàn)象

　　2、指針表在真空計打開30秒后，黑色指針仍不擺動

　　監(jiān)控片使用原則

　　1、監(jiān)控片表面要清洗干凈

　　2、監(jiān)控片要隨用隨鍍，空氣中暴露12小時以上禁止使用

　　3、監(jiān)控片及其表面存在存在缺陷的禁止使用

　　4、使用過程中要記錄好使用批次，嚴禁出現(xiàn)新舊混用

　　5、監(jiān)控片反復(fù)使用壽命為3次。

標簽：真空鍍膜電源