真空鍍膜設(shè)備為了與大氣隔絕，對于真空室的各個部件的連接處、轉(zhuǎn)動軸、蓋、大門、觀察窗、電源、信號引入端等所有地方，都應(yīng)設(shè)計有可靠的真空密封措施。

　　真空密封通常有可拆密封和不可拆密封（又稱永久性密封，包括一些封接、焊接等操作）的區(qū)別。而可拆密封就相對比較復(fù)雜一點，包括了靜密封與動密封兩大類形式。

　　一、靜密封

　　真空鍍膜室的靜密封是指連接件無法做相對運動的一種密封手段。如果只是在低真空和高真空的環(huán)境，那可拆靜密封的密封材料通常采用具有很大彈性的橡膠。如果是超高真空的環(huán)境要求，那么可拆靜密封將有所限制（如高溫烘烤溫度、材料出氣率等），所以一般用軟金屬做鍍膜真空室的密封材料。

　　常見的可拆靜密封材料有橡膠密封、金屬密封、氟塑料密封等，此外還包括一些真空法蘭、真空規(guī)管接頭等零部件。

　　二、動密封

　　鍍膜工藝可能需要將外部的物料傳遞到真空室中。對此，真空容器物料傳遞的運動形式一般可通過傳動軸的轉(zhuǎn)動、擺動以及往復(fù)直線運動等設(shè)計來實現(xiàn)。

　　最常見的動密封型式是傳遞平動和轉(zhuǎn)動的O形圈和填料密封，對于密封要求高的設(shè)備最好選用兩個O形圈來實現(xiàn)，因為這種密封方式可確保裝置軸中心準(zhǔn)直程度。

　　1、傳遞軸轉(zhuǎn)動

　　這一類的動密封形式應(yīng)用最廣的是威爾遜密封，其墊圈孔徑一般設(shè)計為軸直徑的0.65倍-0.8倍，再用金屬襯墊固定住墊片邊緣，橡膠墊孔扭曲變形使內(nèi)緣貼緊軸，達到密封效果。該類型密封可用傳動軸直徑為1.5mm-70mm，但需要注意軸徑一旦超過20mm，在設(shè)計其結(jié)構(gòu)時要知道壓力差的存在，不會把軸壓到真空室里面。傳遞軸轉(zhuǎn)動密封常用雙墊圈，再于雙墊圈間做抽空或注入真空潤滑油脂等措施，以達到真空室密封性能的改善效果。

　　2、傳動軸擺動

　　這一類動密封形式主要靠膜片的變形或金屬波紋管來實現(xiàn)傳遞軸的轉(zhuǎn)動或平移、擺動。該類型密封形式有密封可靠、耐高溫烘烤（因為材料多是耐高溫的 膜片或金屬波紋管）等優(yōu)勢，但是又有價格高、壽命短、位移量小等缺陷。現(xiàn)在主要在超高真空設(shè)備中使用。

　　3、往復(fù)直線運動

　　這一類動密封裝置中的O形圈，不管是以外徑還是內(nèi)徑作滑動密封，裝置壓縮率通常都取10%~12%之間。因為是在拉伸后安裝O形圈，所以斷面直徑縮小，導(dǎo)致實際壓縮量也對應(yīng)縮小，實際壓縮率在拉伸后一般不會低于8%。

　　標(biāo)簽：真空鍍膜電源