在OLED顯示面板的制造過程中，需要在玻璃基板上進(jìn)行有機(jī)膜層的真空蒸鍍，該工作步驟需要在真空蒸鍍機(jī)內(nèi)來完成。

　　因此，提供一種手套箱蒸鍍一體機(jī)，本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和真空手套箱系統(tǒng)集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。

　　真空鍍膜系統(tǒng)優(yōu)點(diǎn)：蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合，實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作，使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中，消除有機(jī)大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響，保障了高性能、大面積有機(jī)光電器件和電路的制備。

　　真空鍍膜系統(tǒng)主要用于太陽能電池鈣鈦礦、OLED和PLED、半導(dǎo)體制備等實(shí)驗(yàn)研究與應(yīng)用。

　　標(biāo)簽:真空鍍膜電源