真空鍍膜有三種形式，即蒸發鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍:蒸發鍍膜，通過加熱蒸發某種物質使其沉積在固體表面；濺射鍍膜用高能粒子轟擊固體表面時能使固體表面的粒子獲得能量并逸出表面，沉積在基片上；離子鍍蒸發物質的分子被電子碰撞電離后以離子沉積在固體表面。這三種形式的真空鍍膜技術都需要一種快速冷卻裝置來輔助真空鍍膜工程。

　　真空設備由于在鍍膜過程中工件處于密閉的真空環境中，但產品工藝及性能卻喪失了很多，現有的真空鍍膜設備，也有冷卻裝置，但其冷卻效果不是很理想。

　　不能滿足人們的需要，為彌補現有技術不足，提供真空鍍膜設備手套箱蒸鍍一體機，本系統由真空鍍膜系統和手套箱系統集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。能保證鍍膜產品工藝及性能質量的要求而設置的快速冷卻系統，實現自動控制快速冷卻的目的。

　　蒸發鍍膜與手套箱組合，實現蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作，使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環境氛圍的系統中，消除有機大面積電路制備過程中大氣環境中不穩定因素影響，保障了高性能、大面積有機光電器件和電路的制備。

　　標簽：真空鍍膜電源